關于退火爐的爐溫控制介紹
退火爐用于不同規(guī)格銅直管(棒)、鋼管、鋁管或盤園在控制氣氛下連續(xù)光亮退火。工件連續(xù)通過預熱、加熱、保溫、緩冷、冷卻,不受長度限制。傳動采用托輥式同步傳動,變頻調速,平穩(wěn)牢靠。通保護氣氛和熱氣氛循環(huán),溫度均勻,內外表面很光亮。冷卻區(qū)設計特殊,保障工件均勻冷卻。處理的產品內外表面光亮,產品質量高,生產率高。
退火爐一般無需程序溫控流程,(特殊工藝除外)直接設置使用溫度即可。如果該爐是剛使用的話需要烘爐,應設置溫控流程。1、設置200度保溫6小時;2、設置500度保溫6小時;3、設置700度保溫4小時;4、設置950度保溫2小時,就可以裝料使用了。
退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。